檀柏梅
时间：2017-03-08 来源：信息工程学院 作者： 访问量：
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姓 名
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檀柏梅
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职 称
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教授
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所在系别
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微电子技术与材料研究所
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职务或社会兼职
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1. 机械工程学会摩擦学分会常务委员
2. 电子学会高级会员
3. 材料学会高级会员
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联系电话
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022-60204424
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电子邮件
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bmtan@www.ndytng.com
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通讯地址
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天津市红桥区光荣道29号南院微电子所
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邮政编码
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300130
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主讲课程
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固体物理、近代固体物理、半导体物理、半导体器件物理、半导体化学理论
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导师类型
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博导
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个人经历或学术经历
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1991年毕业于天津大学物理系获理学士学位
1999年毕业于材料学院材料物理与化学专业获工学硕士学位
2003年毕业于信息学院微电子学与固体电子学专业获工学博士学位
1991至今，在任职助理馆员、讲师、副教授、教授。
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研究方向
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微电子技术与材料，从事集成电路衬底及多层布线的CMP及后清洗的材料、工艺与技术的研究，在碱性CMP材料与技术、半导体表面洁净化技术方面取得了多项成果。
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业绩成果
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近年来在微电子领域承担或作为主研人参与了国家02重大专项、天津市科技支撑、河北省自然科学基金等十余项科研项目的研究，发表科技论文60余篇，其中SCI、EI收录30余篇，发表专著两部，获得天津市技术发明一等奖一项，二等奖两项，三等奖两项；获得14项国内专利授权，1项美国专利授权，2006年获第九届中国专利优秀奖，天津市专利金奖，在2006年获得河北省高校第六批中青年骨干教师称号。
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