关于邹毅达等硕士研究生答辩的公告（2024年5月24日）
时间：2024-05-20 来源： 作者： 访问量：
答辩时间：2024年5月23日（星期四）8:30
答辩地点：微电子所202会议室
答辩委员会：潘国峰(教 授) 刘玉岭(教 授) 牛新环（教授）
罗 翀 (研究员) 高宝红(副研究员) 王如(高级工程师)
答辩秘书：齐宇航（博士、讲师）
答辩顺序：
序号 |
答辩人 |
专业 |
论文题目 |
1 |
邹毅达 |
电子科学与技术 |
不同添加剂对蓝宝石CMP性能的影响及机理研究 |
2 |
叶博 |
新一代电子信息技术 |
钴互连钴膜CMP速率选择性及界面腐蚀抑制机理研究 |
3 |
方淇 |
电子科学与技术 |
钴基阻挡层CMP及电化学腐蚀抑制机理研究 |
4 |
董君怡 |
新一代电子信息技 |
WO3 基气体传感器的制备及气敏性能研究 |
5 |
王海英 |
新一代电子信息技 |
铜互连阻挡层CMP铜线条剩余厚度控制机理的研究 |
6 |
占妮 |
电子科学与技术 |
钌基铜互连铜膜CMP抛光液性能及机理研究 |
7 |
刘鸣瑜 |
新一代电子信息技术 |
铜CMP后清洗表面活性剂对污染颗粒去除机理研究 |
8 |
梁斌 |
新一代电子信息技术 |
GLSI铜CMP中机械和化学协同作用机理及应用的研究 |
9 |
王孟洁 |
电子科学与技术 |
NiO基VOCs气体传感器的制备及敏感特性研究 |
10 |
刘江皓 |
新一代电子信息技术 |
钴基铜互连铜膜CMP抛光液抑制剂的选择与机理研究 |
电子信息工程学院
2024年5月20日