1.设备简介

日本电子 JSM 7610F高分辨场发射扫描电子显微镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是，①有较高的放大倍数，25-1,000,000倍之间连续可调；②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；③试样制备简单，块体、薄片、粉末均可。

2.设备功能

主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态。对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察、材料断口分析。二次电子像、背散射电子成像、EDS。

3.技术参数

（1）二次电子像分辨率：高加速：1.0 nm@15.0 kV；低加速：1.3 nm@1.0 kV (GB)；分析：3.0 nm@15 kV, 5 nA, WD 8mm

（2）加速电压：0.1 ～ 30 kV

（3）探针电流：pA 级 ~ 200 nA以上

（4）5轴马达驱动样品台：X:70mm,Y:50mm,Z:1.0 ~ 40.0 mm  T:-5 ~ 70, R:360°无限

（5）放大倍率：x25 ~ 1,000,000

（6）物镜：高分辨式

（7）EDS：牛津 UItimMax 40

4.样品要求

最基本要求：无磁性、无水分、无挥发性物质

块状样品：直径小于18mm，高度最好低于12mm。

粉末样品及不导电样品：可喷金喷碳，粘在导电胶上进行观察。

5.联系方式

设备存放地点：机材楼C101  

联系人：柴骁函    

电话：15022329889

邮箱：1119131813@qq.com